高清大屏输入、图形界面显示 微电脑全自动控制、有超温报警、过流保护、断偶提示功能 多段“时间-温度”曲线任意设置
	进口氧化铝纤维炉膛、纯手工打磨

1.该炉体采用上下“分-合”结构，易于取放炉管；
2.炉膛内部设计有对流栅格，炉体内部气流容易形成上下对流循环，有利于炉温平衡，温场均匀。
3.整个炉体采用双层内胆式结构，中间有气隙隔离，即使炉膛温度高达1100℃，炉体表面仍然可以安全触摸无滚烫感觉。
4.炉膛采用进口节能材料制作，整机能耗仅仅只有同等传统电炉的1/3，节能环保。
5.炉膛加热元件呈圆周状轴向均匀分布，并且发热元件已做内嵌式固化，加热时热能辐射均匀温和。
6.炉体配有：输出电压和输出电流监测表，炉子加热状态一目了然。
7.每台炉子出厂时：热点偶都已做严格的测温校验，不合格品严禁出厂。
8.每台炉子的控温系统出厂前都经过低温，中温，高温的老化测试，确保产品质量稳定可靠。
9.气路管道采用304抛光管制作耐腐蚀性强,内壁洁净,不易污染气体.气路接头采用全不锈钢双卡套快速接头,方便连接,不易泄漏.可以外接三种气体。
10.真空泵为双击旋片式，可以长时间连续工作，并配有油气过滤器，可以很好的净化油气，防止污染。

1	产品名称	1200℃单温区三路气体CVD系统（触屏操作）
2	常规型号	CY-O1200-50IT-3ZV10（炉管直径：50mm）
3		CY-O1200-60IT-3ZV10（炉管直径：60mm）
4		CY-O1200-80IT-3ZV10（炉管直径：80mm）
5		CY-O1200-100IT-3ZV10（炉管直径：100mm）
6	炉膛模式	开启式
7	加热元件	合金加热丝
8	极限温度	1200℃
9	工作温度	≤1150℃
10	升温速率	≤20℃(建议:10℃/min)
11	加热温区	单温区
12	温区长度	440mm
13	恒温区长	200mm
14	炉管材质	高纯石英
15	炉管长度	1000mm
16	密封方式	不锈钢真空法兰
17	气 密 性	真空法兰和石英炉管的气密性最高可达4.03×10-3Pa
18	控制模式	智能PID多段程序控温
19	控温精度	±1℃
20	电流监控	指针式电流计
21	电压监控	指针式电压计
22	测温元件	K型热电偶
23	电气认证	CE认证
24	供电电源	220V 50Hz～60Hz
25	整机功率	2.5KW
26	气体通道	可连接3种气源
27	流 量 计	质子流量计
28	A路量程	10～100ml/min
29	B路量程	16～160ml/min
30	C路量程	25～250ml/min
31	气路压力	-0.1～0.15 MPa
32	系统真空	5～10Pa（需要达到其它真空度时，需选配不同的抽真空装置）
33	泵路链接	KF16不锈钢波纹管、KF16卡箍、KF16挡板阀
34	真 空 计	标准配置机械真空计，也可选配电子真空计
35	售后服务	15个月质保，终身保修
36	包装形式	三合板木质包装箱，包装箱不回收
37	随机配件	石英炉管、真空法兰、炉管堵塞、O型密封圈、防护手套、坩埚炉钩、说明书、聚四氟管、不锈钢卡套接头、不锈钢波纹管、KF转接头、5mm内六角扳手。
38	整套尺寸	左右：700mm；前后：600mm；高度：1190mm